Introduzione ai sensori di pressione

Il sensore di pressione è un dispositivo o dispositivo in grado di rilevare il segnale di pressione e convertirlo in un segnale elettrico di uscita disponibile secondo una determinata legge.

Il sensore di pressione è solitamente costituito da un elemento sensibile alla pressione e da un'unità di elaborazione del segnale. I sensori di pressione possono essere suddivisi in sensori di pressione relativa, sensori di pressione differenziale e sensori di pressione assoluta.

Il sensore di pressione è il sensore più comunemente utilizzato nella pratica industriale, ampiamente utilizzato in una varietà di ambienti di controllo automatico industriale, che coinvolgono la tutela dell'acqua, l'energia idroelettrica, il traffico ferroviario, gli edifici intelligenti, il controllo automatico della produzione, il settore aerospaziale, militare, petrolchimico, i pozzi petroliferi, l'energia elettrica. , navi, macchine utensili, condutture e altre industrie. Ecco alcuni principi comuni dei sensori e le loro applicazioni. C'è anche un sensore di pressione medico.

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Il sensore di pressione è uno dei sensori più utilizzati. Il sensore di pressione tradizionale è principalmente un dispositivo con struttura meccanica, la deformazione dell'elemento elastico indica la pressione, ma la dimensione strutturale è grande, la massa è pesante e non è possibile fornire l'uscita elettrica. Con lo sviluppo della tecnologia dei semiconduttori sono emersi anche i sensori di pressione a semiconduttore. È caratterizzato da dimensioni ridotte, leggerezza, elevata precisione e buone caratteristiche di temperatura. Soprattutto con lo sviluppo della tecnologia MEMS, i sensori a semiconduttore hanno raggiunto la miniaturizzazione, il basso consumo energetico e l'elevata affidabilità.

1. Trasmettitore di pressione in silicio a diffusione.

I trasmettitori di pressione diffusa in silicio sono realizzati confezionando elementi sensibili alla pressione piezoresistivi isolati in silicio in un involucro di acciaio inossidabile. Può convertire la pressione percepita del liquido o del gas in una potenza elettrica standard.

2. Tipo piezoresistivo a semiconduttore.

Il sensore di pressione di diffusione dell'impedenza piezoelettrica del semiconduttore forma una pressione di deformazione del semiconduttore sulla superficie del wafer e deforma il wafer mediante una forza esterna (pressione), determinando un effetto di impedenza piezoelettrica e converte la variazione di impedenza in un segnale elettrico.

3. Tipo di capacità elettrostatica.

Il sensore di pressione a capacità elettrostatica deve formare una capacità tra il polo fisso di vetro e il polo mobile di silicio e convertire la variazione di capacità elettrostatica causata dalla deformazione del polo mobile in un segnale elettrico.